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李健高级工程师

在职单位：佛山大学擅长领域：机械装备、机械加工、其他

传热学，空气动力学，流体力学，计算流体力学，半导体外延装备及材料

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教育背景

学习经历： 2015 年 9 月-2018 年 6 月中山大学光学工程博士工作经历： 2011 年 6 月-2012年 12月明阳智慧能源集团股份公司 2012年 12月-2015年8月佛山市中山大学研究院 2018 年 9 月-2021 年 9 月中山大学博士后 2022年3月-至今佛山科学技术学院特聘青年研究员

工作经历

无

参与项目

主要主持及参与的项目： 1、GaAs系MOCVD外延工艺仿真系统开发及设备技术优化研究，中山德华芯片技术有限公司，企业横向，210万，在研； 2、砷化镓空间太阳电池MOCVD外延化学反应机理及工艺参数研究，博士后科研启动基金，30万，在研； 3、广东省重点领域研发计划项目，六英寸碳化硅晶圆高温氧化炉多片机研发，2021B0101300005，1000万，在研，参与，排名第二； 4、锂电池涂布浆料挤压模头的流场分析，东莞致宏精密模具有限公司，企业横向，20 万，在研； 5、大流量超声氧气传感器技术开发，慧传科技（珠海）有限公司，企业横向，22 万，结题； 6、氧化物半导体器件的电极制备技术开发，上海您惦半导体科技有限公司，企业横向，20 万，结题； 7、广东省电子功能材料与器件重点实验室开放基金-面上项目，氧化锌基半导体薄膜材料 MOCVD 外延生长化学反应机理的研究，EFMD2020005M，结题，主持； 8、广东省重点领域研发计划项目，氧化锌基半导体薄膜材料 MOCVD 智能外延生长系统开发，2019B010132002，500万，结题，参与，排名第二； 9、氧化物MOCVD反应腔的开发，上海您惦半导体科技有限公司，企业横向，30万，结题； 10、空调机模型零件自动识别程序开发，澳汰尔工程软件有限公司，企业横向，20 万，结题； 11、广东省重点领域研发计划项目，新型氧化物半导体透明电极结构 AlGaInP 基红光 LED 芯片关键技术研发及其产业化， 2015B010132006，500万，结题，参与，排名第三；

主要荣誉

2020年获得广东省科学技术奖二等奖

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