精密运动生成：柔顺并联机构，压电驱动纳米定位平台，精密电子制造装备。 精密运动测量：显微视觉运动追踪，高速精密检测方法。 精密运动控制：精密运动控制理论，柔顺机构柔顺控制，微纳运控算法优化。